Philips AZ1518/17 manuels

Philips AZ1518/17 Manuel d'utilisateur (131 pages)

marque: Philips | Catégorie: Non | Taille: 8.61 MB |

Allemand

Table des matières

Inhaltsverzeichnis

3

IV INHALTSVERZEICHNIS

6

Strukturierungsverfahren

7

0µm 2µm 4µm 6µm 8µm

8

Aufgabenstellung

11

Kapitel 1

13

Grundlagen der Plasmaphysik

13

1.3 Die Debye-H

15

1.4 Die Plasmafrequenz

17

Kapitel 2

19

2.2 Arten der Plasmaquellen

20

2.4.1 Experimenteller Aufbau

23

Reaktionskammer

24

~10mbar

24

bei 3000 Umdre

25

Photoresist

26

P -Druckam Auslass

35

P -Staudruck

35

2.6 Diskussion

37

Kapitel 3

39

Mehrzahl der plasmaerzeugten

39

Teilchen

39

3.1.2 Oberﬂ

40

3.1.3 Metastabiler Sauerstoﬀ

42

3.1.4 Negative Sauerstoﬃonen

42

Sauerstoﬀs

43

3.2 Identiﬁkation von den

45

3.2.1 Ionen

45

3.2.2 Plasmastrahlung

46

3.4 Diskussion

52

Kapitel 4

53

Verlustprozesse der atomaren

53

4.2 Wandverluste

54

4.2.1 Sorptionsph

54

Festkörper

56

Chemisorption

56

Physisorption

56

4.2.2 Mechanismen der Oberﬂ

57

4.3.1 Erste Ordnung

59

4.3.2 Zweite Ordnung

60

4.4 Diskussion

61

5.1 Stand der Forschung

63

5.3.1 Die chemische Fixierung

65

5.3.2 Entw

65

Kritischer

66

5.4.1 Gefrierschock

67

5.4.2 Gefriertrocknung

68

5.6 Die chemische

69

Kapitel 6

71

68KAPITEL 6. PR

74

Piezobimorph

75

Kapillare

75

6.3 Erste Ergebnisse

77

6.5.1 Proteinnachweis in ge

79

6.5.2 Proteinnachweis vor dem

81

Oﬀnen der Zellen

81

6.6 Diskussion

82

6.7 Untersuchungen an Knochen

83

6.8 Diskussion

85

80KAPITEL 6. PR

86

Kapitel 7

87

Strukturierung von

87

Polymersubstraten

87

Oxidmaske aufp-dotiertem

89

Wafer(1.5 m)m

89

7.3 Mikrostrukturierungen

91

Tiefe/nm

92

7.4 Diskussion

93

Kapitel 8

95

Numerische Modellierung

95

8.1.3 Kollisionen

97

8.1.4 Randbedingungen

98

=f(cos( ))

99

8.2 Physikalische Annahmen

100

Austritts

103

Substrat

103

8.6 Diskussion

110

Kapitel 9

111

Zusammenfassung

111

Literaturverzeichnis

113

Liste der Ver

127

Danksagung

129

Lebenslauf

130

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